Termékleírás
A tisztatéri gyártás szíve,Félvezető vákuumszivattyúkprecíziós{0}}tervezése megfelel a mikroelektronikai gyártás rendkívül szigorú követelményeinek. Ezeket a szivattyúkat úgy tervezték, hogy tökéletesen tiszta, stabil és vibrációmentes-vákuumkörnyezetet biztosítsanak, ami abszolút kritikus fontosságú olyan folyamatokban, ahol még a mikroszkopikus szennyeződés is katasztrofális termékmeghibásodáshoz vezethet.termékuniverzálisan alkalmaznak olaj-- és korrózióálló- konstrukciókat, gyakran olyan speciális anyagokat használnak, amelyek ellenállnak az agresszív technológiai gázoknak. Állítható áramlási sebességgel érik el a szükséges magas vákuumszintet, jellemzően 0,001 Pascal-ig, és úgy tervezték, hogy rendkívül alacsony vibrációs profillal rendelkezzenek, hogy megakadályozzák a finom nanostruktúrák károsodását.
Moduláris tervezési filozófiájuk lehetővé teszi a bonyolult szerszámkészletekbe való egyszerű integrációt, és megkönnyíti a szervizelést, ami kulcsfontosságú a költséges szerszámleállások minimalizálásában. Az elsődleges alkalmazásaFélvezető vákuumszivattyúkAmint a neve is sugallja, a félvezetőiparban található, ahol a chipgyártás gyakorlatilag minden lépésében használják őket, a maratástól és leválasztástól az ionbeültetésig és a litográfiáig. Létfontosságúak az olyan kapcsolódó területeken is, mint az elektronikus csomagolás és a fotovoltaikus cellák gyártása. Az elektronikán túl ezeket a szivattyúkat gumi- és műanyagipari gépekben használják nagy-tisztaságú félvezető-minőségű anyagok feldolgozására. Az élelmiszer-csomagolásban segítik az érzékeny elektronikai alkatrészek speciális csomagolásának kifejlesztését. A dedikált vákuumos bevonatrendszereken belül,terméknélkülözhetetlenek a félvezető{0}}minőségű bevonási eljárások elvégzéséhez, amelyek maximális tisztaságot és megbízhatóságot követelnek meg. Amikor a folyamat sikere egy makulátlan és rendíthetetlen vákuumtól függ,Félvezető vákuumszivattyúka végleges és megbízható megoldás.
|
Alapvető paraméterek |
typeNumber |
||||
|
DLT.LG180 |
DLT.LG360 |
DLT.LG630 |
DLT.LG800 |
DLT.LG1100 |
|
|
Szivattyúzási sebesség, m3/h |
143 |
354 |
625 |
780 |
994 |
|
Végső nyomás, Pa |
2 |
2 |
1 |
1 |
1 |
|
Forgási sebesség, fordulat/perc |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
|
Zaj Lp, dB(A) |
82 |
83 |
83 |
84 |
85 |
|
Maximális vízfogyasztás, L/perc |
8 |
15 |
25 |
35 |
45 |
|
Bemeneti átmérő, mm |
50 |
50 |
65 |
100 |
100 |
|
Kipufogónyílás átmérője, mm |
40 |
40 |
50 |
80 |
80 |
|
Motor teljesítmény, kW |
4 |
7.5 |
15 |
18.5 |
22 |
|
Szivattyúfej súlya, kg |
245 |
350 |
550 |
630 |
780 |
Népszerű tags: félvezető vákuumszivattyúk, Kína félvezető vákuumszivattyúk gyártói, beszállítói, gyárai